真空鍍膜技術(shù)是真空應(yīng)用技術(shù)的一個重要分支,它已廣泛地應(yīng)用于光學、電子學、能源開發(fā),理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、表面科學以及科學研究等領(lǐng)域中。真空鍍膜所采用的方

法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積鍍以及分子束外延等。此外還有化學氣相沉積法。如果從真空鍍膜的目的是為了改變物質(zhì)表面的物理、化學性能的話，這-技術(shù)又是真空表面處理技

術(shù)中的重要組成部分�，F(xiàn)就其幾個主要應(yīng)用方面做一簡單介紹。

在光學方面，-塊光學玻璃或石英表面.上鍍-層或幾層不同物質(zhì)的薄膜后， 即可成為高反射或無反射(即增透膜)或者作任何預(yù)期比例的反射或透射材料，也可以作成對某種波長的吸收，而

對另-種波長的透射的濾色片。高反射膜從大口徑的天文望遠鏡和各種激光器開始、一直 到新型建筑物的大窗鍍膜茉莉，都很需要。增透膜則大量用于照相和各種激光器開始、- -直 到新型建筑物

的大窗鍍膜玻璃，都很需要。增透膜則大量用于照相機和電視攝象機的鏡頭上。

在電子學方面真空鍍膜更占有重要的地位。各種規(guī)模的繼承電路。包括存貯器、運算器、告訴邏輯元件等都要采用導(dǎo)電膜、絕緣膜和保護膜。 作為制備電路的掩膜則用到鉻膜。磁芾、磁盤

半導(dǎo)體激光器，約瑟夫遜器件、電荷耦合器件(CCD) 也都甬道各種薄膜。

在顯示器件方面，錄象磁頭、高密度錄象帶以及平面顯示裝置的透明導(dǎo)電膜、攝像管光導(dǎo)膜、顯示管熒光屏的鋁襯等也都是采用真空鍍膜法制備。

在元件方面，在真空中蒸發(fā)鎳鉻,鉻或金屬陶瓷可以制造電阻，在塑料上蒸發(fā)鋁、-氧化硅、二 氧化鈦等可以制造電容器， 蒸發(fā)硒可以得到靜電復(fù)印機用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇可以制造磁致伸

縮的起聲元件等等。真空蒸發(fā)還可以用于制造超導(dǎo)膜和慣性約束巨變反應(yīng)用的微珠鍍層。

此外還可以對珠寶、鐘表外殼表面、 紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜，以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具模具等 制造超硬膜。近兩年內(nèi)所興起的多弧離子鍍制備鈦金制品，如

不銹鋼薄板、鏡面板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄桿等目前正在盛行。