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真空鍍膜設(shè)備的背壓檢漏法這樣一種教學(xué)方法叫做背壓檢漏法,大家對這種方法了解嗎?下面小編就簡單給大家介紹一下。 背壓檢漏法是一種充壓檢漏與真空檢漏相結(jié)合的方法,用于封離后的電子器件,半導(dǎo)體器件等的密封件的無損檢漏技術(shù)中。這種方法可以分為以下三個步驟:充壓、凈化、檢漏。 1、充壓過程是將被檢件在充有高壓示漏氣體的容器內(nèi)存放進行一定時間,如被檢件有漏孔,示漏氣體就可以通過標準漏孔進入被檢件的內(nèi)部,并且將隨浸泡不同時間的增加和充氣系統(tǒng)壓力的增高,被檢件內(nèi)部示漏氣體的分壓力也必然會受影響逐漸開始升高。 2、凈化過程在充壓容器外部或在其內(nèi)部噴吹被檢件是采用干燥氮氣流或干燥空氣流。 如果沒有氣源,可以放置被檢部件,以去除被檢部件表面吸附的暴露氣體。在凈化過程中,部分氣體會從樣品內(nèi)部泄漏,導(dǎo)致氣體泄漏分壓逐漸降低,而且凈化時間越長,氣體泄漏分壓降越大。 |