在高真空下，電子束鍍膜機(jī)放出熱電子，被加速陽(yáng)極加速，獲得巨大的動(dòng)能轟擊在蒸發(fā)材料上，動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱量加熱蒸發(fā)材料，實(shí)現(xiàn)電子束蒸發(fā)鍍膜。電子束鍍膜機(jī)由發(fā)射電子的熱陰極、電子加速電極和作為陽(yáng)極的涂層材料組成。電子束蒸發(fā)源的能量可以高度集中，使得涂層材料局部達(dá)到高溫并蒸發(fā)。通過調(diào)節(jié)電子束的功率，可以方便地控制涂層材料的蒸發(fā)速率，特別是對(duì)于高熔點(diǎn)、高純度的金屬和化合物材料。

電子束鍍膜機(jī)涂層的特性

　　電子束鍍膜機(jī)是工業(yè)上常用的薄膜制造設(shè)備。由于蒸發(fā)涂布機(jī)的特點(diǎn)，它在薄膜生產(chǎn)中起著重要的作用，薄膜主要是通過涂布機(jī)中電子束的加熱來生產(chǎn)的。

　　1、電子束鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)

　　(1)將涂布機(jī)中的電子束加熱方法與傳統(tǒng)的電阻加熱方法進(jìn)行了比較。電子束加熱會(huì)產(chǎn)生較高的通量密度，有利于高熔點(diǎn)材料的蒸發(fā)，也能在一定程度上提高蒸發(fā)速率。

　　(2)電子束鍍膜機(jī)工作時(shí)，將待蒸發(fā)的原料放入水冷銅坩堝中，可以防止材料被污染，制造出高純度的薄膜。

　　電子束蒸發(fā)的粒子動(dòng)能比較大，有利于薄膜的精度和結(jié)合力。

　　2、電子束鍍膜機(jī)的缺點(diǎn)

　　電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)整體結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，相對(duì)于其他鍍膜設(shè)備價(jià)格比較高。

　　鍍膜機(jī)工作時(shí)，如果蒸發(fā)源附近的蒸汽密度比較高，電子束電流與蒸汽粒子會(huì)有一定的相互作用，影響電子通量，使電子通量失去或偏離軌道。同時(shí)，你也可能引發(fā)蒸汽和殘余氣體的激發(fā)和電離，影響整個(gè)膠片的質(zhì)量。