電子槍是電子束鍍膜機(jī)設(shè)備的核心部件，其作用是加熱薄膜材料和被加工零件。電子槍主要由支架、燈絲、聚焦系統(tǒng)和偏轉(zhuǎn)線圈四部分組成。電子槍的燈絲是陰極，機(jī)械加工部分是陽極。陽極接地。

電子束鍍膜機(jī)工作時，需要先預(yù)熱燈絲。燈絲預(yù)熱電流60-90A，預(yù)熱時間20分鐘以上。燈絲加熱后，燈絲(陰極)中電子的勢能增加，為發(fā)射電子做好準(zhǔn)備。這時，當(dāng)20KV]JI~ (2)的電壓接通時，燈絲(陰極)在電場的作用下開始發(fā)射電子。在聚焦系統(tǒng)、偏轉(zhuǎn)線圈和加速電壓的共同作用下，燈絲(陰極)發(fā)射的電子聚集成束，以極高的速度向待加工的膜材料或零件發(fā)射。

　　薄膜和加工零件的表面溫度與電子束強(qiáng)度成正比。電子束的強(qiáng)度可以通過控制燈絲的電流來控制，從而控制薄膜材料和加工零件的表面溫度。

　　電子束鍍膜機(jī)的離子清洗裝置

　　電子束鍍膜機(jī)設(shè)備采用考夫曼離子源，電場和電壓為1.5KV，燈絲為陰極，機(jī)械部分為陽極，陽極接地。工作原理是將氬氣注入電離室，氣體氬原子通過電弧放電電離成等離子體。在相對于等離子體具有正電勢的電極的作用下，負(fù)離子束從等離子體中被引出。在電場的作用下，能量為0.5-5 kev的氬負(fù)離子從陰極向陽極運(yùn)動，高速轟擊加工零件表面。氬氣離子的直徑只有十分之幾納米。被加工件表面受到離子束轟擊后，由于氬離子的動能使被加工件表面原子間的結(jié)合力變干，被沖擊的被加工件表面的原子被濺射出來。達(dá)到去除加工件表面污染物的目的，即對加工件進(jìn)行離子清洗。

　　薄膜材料的進(jìn)給機(jī)構(gòu)和被加工零件的進(jìn)給旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)也是電子束鍍膜機(jī)設(shè)備不可缺少的部件，因?yàn)檫@兩個機(jī)構(gòu)的工作原理和主要部件與數(shù)控機(jī)床甚至一般機(jī)床基本相同。